Plasma froid basse pression
Le traitement par plasma dit « froid » (ou hors équilibre) est une des techniques de traitement de surface ayant le champ d’application le plus vaste. Ainsi, lors de l’application de cette dernière, on peut faire intervenir de nombreux gaz dont certains tels que l’argon, l’oxygène, l’azote, l’ammoniac ou le fluor sont parmi les plus couramment utilisés. La nature des gaz utilisés va permettre de conférer aux matériaux traités des propriétés de surface spécifiques pour des applications données.
Le laboratoire dispose de plusieurs équipements de traitement plasma froid basse pression destinés à des applications différentes.
La première enceinte est une enceinte de 1m*1m*10 cms3 permettant de traiter de grandes feuilles ou plaques de divers matériaux (polymères, verre, métaux...). Le générateur (Dressler) est un générateur Radio-Fréquence (13,56MHz) et l’enceinte dispose de 3 entrées de gaz.
Cette enceinte sert essentiellement à effectuer du décapage (gaz Ar par exemple), de la fonctionnalisation (modification d’énergie de surface avec de l’oxygène ou des gaz fluorés), ou de la polymérisation in situ après imprégnation par foulardage.
La seconde enceinte est polyvalente : on peut lui adapter un générateur Radiofréquence, micro -ondes ou micro-ondes pulsées, et la géométrie de l’enceinte permet de traiter des objets 3D ainsi que des poudres.
Le dernier réacteur utilise un système de plasma généré par uné générateur micro-ondes (2,45 GHz), en post-décharge, qui permet d’effectuer de la PACVD (Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition).
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| Enceinte plasma RF (Europlasma) | Enceinte plasma polyvalente (Europlasma) | Enceinte plasma |
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